Īss apraksts par vakuuma izolētu cauruļvadu sistēmu kriogēnajā pielietojumā čipu rūpniecībā

Vakuuma izolētas cauruļvadu sistēmas ražošana un projektēšana šķidrā slāpekļa transportēšanai ir piegādātāja pienākums. Šajā projektā, ja piegādātājam nav apstākļu mērījumu veikšanai uz vietas, cauruļvada virziena rasējumi ir jānodrošina no ražotāja. Pēc tam piegādātājs projektēs VI cauruļvadu sistēmu šķidrā slāpekļa scenārijiem.

Piegādātājam ir jāveic cauruļvadu sistēmas vispārējais projekts, ko veic pieredzējuši projektētāji saskaņā ar pieprasītāja sniegtajiem rasējumiem, iekārtu parametriem, vietas apstākļiem, šķidrā slāpekļa īpašībām un citiem faktoriem.

Projektēšanas saturs ietver sistēmas piederumu veidu, iekšējo un ārējo cauruļu materiāla un specifikāciju noteikšanu, izolācijas shēmas projektu, iepriekš izgatavoto sekciju shēmu, cauruļu sekciju savienojuma formu, iekšējo cauruļu kronšteinu, vakuuma vārstu skaitu un novietojumu, gāzes blīvējuma novēršanu, termināļa iekārtu kriogēno šķidrumu prasības utt. Šī shēma pirms ražošanas jāpārbauda pieprasītāja profesionālajam personālam.

Vakuuma izolēto cauruļvadu sistēmu projektēšanas saturs ir plašs, šeit ir aprakstītas HASS lietojumprogrammas un MBE iekārtas dažās bieži sastopamās problēmās, vienkārša saruna.

1 2

VI cauruļvadi

Šķidrā slāpekļa uzglabāšanas tvertne parasti atrodas tālu no HASS pielietojuma vai MBE iekārtām. Lai gan vakuuma izolētā caurule ieiet ēkas iekštelpās, tā ir jāizvairās, ņemot vērā telpu izkārtojumu ēkā un lauka caurules un gaisa vada atrašanās vietu. Tāpēc, transportējot šķidro slāpekli uz iekārtu, nepieciešami vismaz simtiem metru caurules.

Tā kā saspiestā šķidrā slāpekļa sastāvā ir liels gāzes daudzums, un transportēšanas attālums ir liels, pat vakuuma adiabātiskās caurules transportēšanas procesā radīs lielu slāpekļa daudzumu. Ja slāpeklis netiek izvadīts vai emisija ir pārāk zema, lai izpildītu prasības, tas radīs gāzes pretestību un novedīs pie sliktas šķidrā slāpekļa plūsmas, kā rezultātā ievērojami samazināsies plūsmas ātrums.

Ja plūsmas ātrums ir nepietiekams, iekārtas šķidrā slāpekļa kameras temperatūru nevar kontrolēt, kas galu galā var sabojāt iekārtu vai produkta kvalitāti.

Tāpēc ir jāaprēķina termināla iekārtas (HASS pielietojuma vai MBE iekārtas) izmantotā šķidrā slāpekļa daudzums. Vienlaikus cauruļvada specifikācijas tiek noteiktas arī atkarībā no cauruļvada garuma un virziena.

Sākot no šķidrā slāpekļa uzglabāšanas tvertnes, ja vakuuma izolētās caurules/šļūtenes galvenais cauruļvads ir DN50 (iekšējais diametrs φ50 mm), tās atzara VI caurule/šļūtene ir DN25 (iekšējais diametrs φ25 mm), un šļūtene starp atzaru cauruli un termināla iekārtu ir DN15 (iekšējais diametrs φ15 mm). Citi VI cauruļvadu sistēmas veidgabali, tostarp fāžu atdalītājs, degazators, automātiskā gāzes ventilācija, VI/kriogēnā (pneimatiskā) slēgvārsts, VI pneimatiskā plūsmas regulēšanas vārsts, VI/kriogēnā pretvārsts, VI filtrs, drošības vārsts, attīrīšanas sistēma un vakuumsūknis utt.

3

MBE īpašais fāžu atdalītājs

Katram MBE īpašajam normāla spiediena fāžu separatoram ir šādas funkcijas:

1. Šķidruma līmeņa sensors un automātiskā šķidruma līmeņa kontroles sistēma, kas tiek nekavējoties parādīta caur elektrisko vadības bloku.

2. Spiediena samazināšanas funkcija: separatora šķidruma ieplūde ir aprīkota ar separatora palīgsistēmu, kas garantē šķidrā slāpekļa spiedienu 3–4 bar galvenajā caurulē. Ieejot fāžu separatorā, pakāpeniski samaziniet spiedienu līdz ≤ 1 bar.

3. Šķidruma ieplūdes plūsmas regulēšana: fāžu separatora iekšpusē ir izvietota peldspējas kontroles sistēma. Tās funkcija ir automātiski regulēt šķidruma ieplūdes daudzumu, kad palielinās vai samazinās šķidrā slāpekļa patēriņš. Tam ir tāda priekšrocība, ka tiek samazinātas straujas spiediena svārstības, ko izraisa liela daudzuma šķidrā slāpekļa ieplūde, atverot ieplūdes pneimatisko vārstu, un tiek novērsts pārspiediens.

4. Bufera funkcija, efektīvais tilpums separatora iekšpusē garantē ierīces maksimālo momentāno plūsmu.

5. Attīrīšanas sistēma: gaisa plūsma un ūdens tvaiki separatorā pirms šķidrā slāpekļa pārejas un šķidrā slāpekļa izvadīšana separatorā pēc šķidrā slāpekļa pārejas.

6. Automātiska pārspiediena atbrīvošanas funkcija: Iekārta, sākotnēji izejot cauri šķidram slāpeklim vai īpašos apstākļos, palielina šķidrā slāpekļa gazifikāciju, kas noved pie tūlītēja visas sistēmas pārspiediena. Mūsu fāžu separators ir aprīkots ar drošības vārstu un drošības vārstu grupu, kas var efektīvāk nodrošināt spiediena stabilitāti separatorā un novērst MBE iekārtas bojājumus pārmērīga spiediena dēļ.

7. Elektriskā vadības bloks, kas reāllaikā rāda šķidruma līmeni un spiediena vērtību, var iestatīt šķidruma līmeni separatorā un šķidro slāpekli atbilstoši vadības daudzumam. Vienlaikus. Avārijas gadījumā gāzes un šķidruma separatora manuāla bremzēšana šķidruma vadības vārstā nodrošina objekta personāla un aprīkojuma drošību.

4

Daudzkodolu degazētājs HASS lietojumprogrammām

Āra šķidrā slāpekļa uzglabāšanas tvertne satur lielu slāpekļa daudzumu, jo tas tiek uzglabāts un transportēts zem spiediena. Šajā sistēmā cauruļvada transportēšanas attālums ir lielāks, ir vairāk līkumu un lielāka pretestība, kas izraisīs šķidrā slāpekļa daļēju gazifikāciju. Vakuuma izolēta caurule pašlaik ir labākais veids šķidrā slāpekļa transportēšanai, taču siltuma noplūde ir neizbēgama, kas arī novedīs pie šķidrā slāpekļa daļējas gazifikācijas. Rezumējot, šķidrais slāpeklis satur lielu slāpekļa daudzumu, kas rada gāzes pretestību, kā rezultātā šķidrā slāpekļa plūsma nav vienmērīga.

Ja vakuuma izolētās caurules izplūdes iekārtās nav izplūdes ierīces vai izplūdes gāzu tilpums ir nepietiekams, radīsies gāzes pretestība. Kad gāzes pretestība ir izveidojusies, šķidrā slāpekļa transportēšanas jauda ievērojami samazināsies.

Mūsu uzņēmuma ekskluzīvi izstrādātais daudzkodolu degazators var nodrošināt maksimālu slāpekļa izvadīšanu no galvenās šķidrā slāpekļa caurules un novērst gāzes pretestības veidošanos. Daudzkodolu degazerim ir pietiekams iekšējais tilpums, tas var darboties kā bufera uzglabāšanas tvertne, efektīvi apmierinot šķīduma cauruļvada maksimālās momentānās plūsmas vajadzības.

Unikāla patentēta daudzkodolu struktūra, efektīvāka izplūdes jauda nekā mūsu cita veida separatoriem.

5
Turpinot iepriekšējo rakstu, ir daži jautājumi, kas jāņem vērā, izstrādājot risinājumus vakuuma izolētām cauruļvadu sistēmām kriogēnām lietojumprogrammām mikroshēmu rūpniecībā.

1

Divu veidu vakuuma izolētas cauruļvadu sistēmas

Ir divu veidu vakuuma izolētas cauruļvadu sistēmas: statiskā VI sistēma un dinamiskā vakuuma sūknēšanas sistēma.

Statiskā VI sistēma nozīmē, ka pēc katras caurules izgatavošanas rūpnīcā tā tiek vakuumēta līdz norādītajai vakuuma pakāpei sūknēšanas iekārtā un noslēgta. Uzstādot uz vietas un nododot ekspluatācijā, noteiktu laika periodu caurule nav atkārtoti jāizvada uz objektu.

Static VI sistēmas priekšrocība ir zemās apkopes izmaksas. Kad cauruļvadu sistēma ir nodota ekspluatācijā, apkope ir nepieciešama pēc vairākiem gadiem. Šī vakuuma sistēma ir piemērota sistēmām, kurām nav nepieciešamas augstas dzesēšanas prasības un brīvas vietas apkopei uz vietas.

Statiskās VI sistēmas trūkums ir tāds, ka vakuums laika gaitā samazinās. Tā kā visi materiāli visu laiku izdala gāzes, ko nosaka materiāla fizikālās īpašības, VI caurules apvalka materiāls var samazināt procesā izdalītās gāzes daudzumu, taču to nevar pilnībā izolēt. Tas novedīs pie tā, ka noslēgtā vakuuma vidē vakuums samazināsies, un vakuuma izolācijas caurules dzesēšanas spēja pakāpeniski vājināsies.

Dinamiskā vakuuma sūknēšanas sistēma nozīmē, ka pēc caurules izgatavošanas un formēšanas caurule rūpnīcā tiek izsūknēta saskaņā ar noplūdes noteikšanas procesu, taču vakuums pirms piegādes netiek noslēgts. Pēc uzstādīšanas uz lauka visu cauruļu vakuuma starpslāņi tiek savienoti vienā vai vairākās vienībās ar nerūsējošā tērauda šļūtenēm, un cauruļu izsūknēšanai uz lauka tiek izmantots neliels speciāls vakuumsūknis. Īpašam vakuumsūknim ir automātiska sistēma, kas jebkurā laikā uzrauga vakuumu un veic vakuumu pēc nepieciešamības. Sistēma darbojas 24 stundas diennaktī.

Dinamiskās vakuuma sūknēšanas sistēmas trūkums ir tas, ka vakuums ir jāuztur ar elektrību.

Dinamiskās vakuuma sūknēšanas sistēmas priekšrocība ir ļoti stabila vakuuma pakāpe. To galvenokārt izmanto iekštelpās un ļoti augstu projektu vakuuma veiktspējas prasībām.

Mūsu dinamiskā vakuuma sūknēšanas sistēma, viss mobilais integrētais īpašais vakuuma sūknis, lai nodrošinātu iekārtas vakuumu, ērts un saprātīgs izkārtojums, lai nodrošinātu vakuuma efektu, vakuuma piederumu kvalitāte, lai nodrošinātu vakuuma kvalitāti.

MBE projektā, tā kā iekārtas atrodas tīrtelpā un darbojas ilgu laiku, lielākā daļa vakuuma izolētās cauruļvadu sistēmas atrodas slēgtā telpā uz tīrtelpas starpslāņa. Nākotnē nav iespējams ieviest cauruļvadu sistēmas vakuuma uzturēšanu. Tas nopietni ietekmēs sistēmas ilgtermiņa darbību. Tā rezultātā MBE projektā gandrīz pilnībā tiek izmantota dinamiskā vakuuma sūknēšanas sistēma.

2

Spiediena samazināšanas sistēma

Galvenās līnijas spiediena samazināšanas sistēmā ir izmantota drošības vārstu grupa. Drošības vārstu grupa tiek izmantota kā drošības aizsardzības sistēma, ja normālas lietošanas laikā nav iespējams regulēt pārspiedienu un VI cauruļvadus.

Drošības vārsts ir galvenā sastāvdaļa, kas nodrošina, ka cauruļvadu sistēmā nebūs pārspiediena un droša darbība, tāpēc tas ir būtisks cauruļvada darbībā. Tomēr saskaņā ar noteikumiem drošības vārsts ir jāpārbauda katru gadu. Ja viens drošības vārsts tiek izmantots un otrs ir sagatavots, un, noņemot vienu drošības vārstu, otrs drošības vārsts paliek cauruļvadu sistēmā, lai nodrošinātu normālu cauruļvada darbību.

Drošības vārstu grupā ir divi DN15 drošības vārsti — viens lietošanai un otrs gaidīšanas režīmam. Normālā darbībā tikai viens drošības vārsts ir pievienots VI cauruļvadu sistēmai un darbojas normāli. Pārējie drošības vārsti ir atvienoti no iekšējās caurules un tos var nomainīt jebkurā laikā. Abi drošības vārsti ir savienoti un izslēgti, izmantojot sānu vārstu pārslēgšanas stāvokli.

Drošības vārstu grupa ir aprīkota ar spiediena mērītāju, lai jebkurā laikā varētu pārbaudīt spiedienu cauruļvadu sistēmā.

Drošības vārstu grupa ir aprīkota ar izplūdes vārstu. To var izmantot, lai izvadītu gaisu no caurules attīrīšanas laikā, un slāpekli var izvadīt, kad darbojas šķidrā slāpekļa sistēma.

Dāvs

HL kriogēnās iekārtas

Uzņēmums HL Cryogenic Equipment, kas dibināts 1992. gadā, ir zīmols, kas saistīts ar Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company Ķīnā. HL Cryogenic Equipment ir apņēmies projektēt un ražot augsta vakuuma izolētas kriogēnās cauruļvadu sistēmas un saistīto atbalsta aprīkojumu.

Mūsdienu strauji mainīgajā pasaulē nodrošināt progresīvas tehnoloģijas, vienlaikus maksimāli ietaupot klientu izmaksas, ir sarežģīts uzdevums. 30 gadu laikā HL Cryogenic Equipment Company gandrīz visās kriogēno iekārtu un rūpniecības nozarēs ir padziļināti iepazinies ar pielietojumu jomu, ir uzkrājis bagātīgu un uzticamu pieredzi, nepārtraukti pēta un cenšas sekot līdzi jaunākajām norisēm visās dzīves jomās, nodrošinot klientiem jaunus, praktiskus un efektīvus risinājumus, padarot mūsu klientus konkurētspējīgākus tirgū.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Publicēšanas laiks: 2021. gada 25. augusts

Atstājiet savu ziņojumu