Tā kā pusvadītāju ražotāji turpina virzīties uz progresīvām iepakošanas tehnoloģijām, tostarp mikroshēmu integrāciju, flip-chip savienošanu un 3D IC arhitektūrām, nepieciešamība pēc ļoti uzticamas kriogēnās infrastruktūras ir kļuvusi svarīgāka nekā jebkad agrāk. Šajā vidē sistēmas, kas veidotas apHL kriogēnaisVakuuma apvalka caurulei, izolētai caurulei, separatoram, vārstam un vārstu kārbai ir būtiska loma termiskās precizitātes un darbības stabilitātes uzturēšanā.

Kriogēnā kontrole augstas precizitātes iepakošanas līnijās

Mūsdienu mikroshēmu iepakošana un testēšana bieži vien ir saistīta ar pakļaušanu ekstremālām temperatūras svārstībām, īpaši termiskās ciklēšanas, uzticamības pārbaudes un zemas temperatūras raksturošanas laikā. HL kriogēnās iekārtas galvenā funkcijavakuuma izolēta cauruleir piegādāt kriogēnu šķidrumu, parasti šķidru slāpekli, vienlaikus samazinot siltuma iekļūšanu no apkārtējās tīrtelpas vides.

Pateicoties augstajam vakuuma līmenim un daudzslāņu izolācijas konstrukcijai, HL kriogēnaisvakuuma apvalka cauruleSistēma efektīvi novērš siltuma noplūdi, saglabājot šķidrumu stabilā šķidrā fāzē lielos attālumos. Tas nodrošina vienmērīgu dzesēšanas veiktspēju vairākās testēšanas stacijās, novēršot temperatūras svārstības, kas citādi varētu ietekmēt pusvadītāju veiktspējas datus.

Nogurumam jutīgās testēšanas vidēs pat nelielas temperatūras svārstības var ietekmēt mērījumu precizitāti. Tāpēc arvien vairāk testēšanas iestāžu pāriet uz HL kriogēnām vakuuma izolētām cauruļu sistēmām kā ilgtermiņa risinājumu stabilai kriogēnai piegādei.

Fāzes stabilitāte garantēta arFāžu atdalītājs

Darbības laikā daļa kriogēnā šķidruma neizbēgami iztvaiko, absorbējot apkārtējās vides siltumu. HL kriogēnaisfāžu atdalītājsspēlē izšķirošu lomu, atdalot tvaikus no šķidruma, pirms tie sasniedz kritisko aprīkojumu. Tas nodrošina, ka jutīgās testa kamerās un zondēšanas stacijās nonāk tikai atdzesēts šķidrums.

Novēršot divfāžu plūsmu, HL kriogēnais fāžu separators ievērojami uzlabo procesa atkārtojamību un aizsargā lejupējās vadības komponentes no plūsmas nestabilitātes. Tas kļūst arvien svarīgāk, jo ierīču ģeometrijas sarūk un tolerances logi progresīvās mezglu tehnoloģijās kļūst mazāki.

Ekspluatācijas drošību pārvaldaVārstsunVārstu kārba

Kriogēno šķidrumu plūsmu un spiedienu HL kriogēnajā vakuuma apvalka cauruļu sistēmā regulē, izmantojot speciāli izstrādātus HL kriogēnos vārstus. Šie komponenti ir paredzēti uzticamai darbībai īpaši zemās temperatūrās un straujās termiskās pārejās.

Lai vēl vairāk uzlabotu sistēmas drošību un pieejamību, katrs HL kriogēnais vārsts ir ievietots izolētā HL kriogēnā vārsta kārbā. Vārsta kārba aizsargā vārstu no mitruma iekļūšanas, samazina apledojuma veidošanos un ļauj tehniķiem veikt pārbaudes un regulēšanu, neizjaucot apkārtējo zonu termisko līdzsvaru.

Šī kompaktā, modulārā konfigurācija labi atbilst arī stingrajiem telpiskajiem ierobežojumiem, kas raksturīgi pusvadītāju iepakošanas rūpnīcām un tīrtelpu videi.

Vieda infrastruktūras izvēle modernām pusvadītāju iekārtām

Tā kā nozare virzās uz lielāku integrācijas blīvumu un prasīgākiem testēšanas standartiem, kriogēnā infrastruktūra vairs nav sekundārs apsvērums. Pusvadītāju ražotāji, kas iegulda HL kriogēnā vakuuma izolētā caurulē, HL kriogēnā...vakuuma apvalka caurule, atdalītājs, vārstsunvārstu kārbasistēmas iegūst izmērāmas priekšrocības efektivitātes, drošības un ilgtermiņa izmaksu kontroles jomā.

Konkurences pilnā ražošanas vidē kriogēnā tīkla stabilitāte galu galā var ietekmēt produkta ražu, iekārtu kalpošanas laiku un darbības konsekvenci, padarot HL kriogēnos risinājumus par būtisku pusvadītāju infrastruktūras sastāvdaļu.