Molekulārā staru epitaksijas (MBE) īss ziņojums
Molekulārā staru epitaksijas (MBE) tehnoloģija tika izstrādāta piecdesmitajos gados, lai sagatavotu pusvadītāju plānas plēves materiālus, izmantojot vakuuma iztvaikošanas tehnoloģiju. Izstrādājot īpaši augstu vakuuma tehnoloģiju, tehnoloģiju pielietojums tika paplašināts uz pusvadītāju zinātnes jomu.
Pusvadītāju materiālu izpētes motivācija ir pieprasījums pēc jaunām ierīcēm, kas var uzlabot sistēmas veiktspēju. Savukārt jauna materiāla tehnoloģija var radīt jaunu aprīkojumu un jaunu tehnoloģiju. Molekulārā staru epitaksija (MBE) ir augsta vakuuma tehnoloģija epitaksiālā slāņa (parasti pusvadītāju) augšanai. Tas izmanto avota atomu vai molekulu siltuma staru kūli, kas ietekmē viena kristāla substrātu. Procesa īpaši augstas vakuuma īpašības ļauj in situ metālizācijai un izolācijas materiālu augšanai uz jaunizveidotām pusvadītāju virsmām, kā rezultātā saskaras bez piesārņojuma.
MBE tehnoloģija
Molekulārā staru epitaksija tika veikta augsta vakuuma vai īpaši augsta vakuumā (1 x 10-8Pa) vide. Vissvarīgākais molekulārā staru epitaksijas aspekts ir tās zemais nogulsnēšanās ātrums, kas parasti ļauj filmai epitaksiāli augt ar ātrumu, kas mazāks par 3000 nm stundā. Lai sasniegtu tādu pašu tīrības līmeni kā citām nogulsnēšanas metodēm, tik zemam nogulsnēšanas ātrumam ir nepieciešams pietiekami augsts vakuums.
Lai izpildītu iepriekš aprakstīto īpaši augstu vakuumu, MBE ierīcei （Knudsen Cell） ir dzesēšanas slānis, un augšanas kameras īpaši augstā vakuuma videi jāuztur, izmantojot šķidrā slāpekļa cirkulācijas sistēmu. Šķidrais slāpeklis atdzesē ierīces iekšējo temperatūru līdz 77 kelvinam (−196 ° C). Zemas temperatūras vide var vēl vairāk samazināt piemaisījumu saturu vakuumā un nodrošināt labākus apstākļus plānu plēvju nogulsnēšanai. Tāpēc MBE aprīkojumam ir nepieciešama īpaša šķidra slāpekļa dzesēšanas cirkulācijas sistēma, lai nodrošinātu nepārtrauktu un vienmērīgu -196 ° C šķidrā slāpekļa piegādi.
Šķidrā slāpekļa dzesēšanas cirkulācijas sistēma
Vakuuma šķidruma slāpekļa dzesēšanas cirkulācijas sistēma galvenokārt ietver:
● Kriogēnā tvertne
● Galvenā un zaru vakuuma apvalka caurules / vakuuma apvalka šļūtene
● MBE speciālās fāzes atdalītāja un vakuuma apvalka izplūdes caurule
● Dažādi vakuuma apvalka vārsti
● Gāzes un šķidruma barjera
● Vakuuma apvalka filtrs
● Dinamiskā vakuuma sūkņu sistēma
● Precove un attīrīšanas sildīšanas sistēma
HL kriogēno aprīkojuma uzņēmums ir pamanījis MBE šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmas pieprasījumu, organizētu tehnisko mugurkaulu, lai veiksmīgi izstrādātu īpašu MBE šķidru slāpekļa košēšanas sistēmu MBE tehnoloģijai un pilnīgu vakuuma insulāta komplektuedCauruļvadu sistēma, kas izmantota daudzos uzņēmumos, universitātēs un pētniecības institūtos.
HL kriogēnā iekārta
HL Cryogenic Equipment, kas tika dibināta 1992. gadā, ir zīmols, kas saistīts ar Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company Ķīnā. HL kriogēnā iekārta ir apņēmusies projektēt un ražot augstu vakuuma izolēto kriogēno cauruļvadu sistēmu un ar to saistīto atbalsta aprīkojumu.
Lai iegūtu papildinformāciju, lūdzu, apmeklējiet oficiālo vietniwww.hlcryo.comvai e -pastu uzinfo@cdholy.comApvidū
Pasta laiks: maijs-06-2021
