Tehnoloģija
Molekulārā stara epitaksija jeb MBE ir jauna metode augstas kvalitātes plānu kristālu kārtiņu audzēšanai uz kristāla substrātiem. Īpaši augsta vakuuma apstākļos, izmantojot sildīšanas krāsni, kas aprīkota ar visām nepieciešamajām sastāvdaļām un ģenerē tvaiku, caur caurumiem, kas izveidoti pēc atomu vai molekulu staru kolimācijas, tieši ievadot tvaiku atbilstošā monokristāla substrāta temperatūrā, vienlaikus kontrolējot molekulāro staru kūli substrāta skenēšanā, tas var panākt, ka molekulas vai atomi kristāla izlīdzināšanas slāņos veido plānu plēvi uz substrāta.
MBE iekārtu normālai darbībai ir nepieciešams nepārtraukti un stabili transportēt augstas tīrības pakāpes, zema spiediena un īpaši tīru šķidro slāpekli uz iekārtas dzesēšanas kameru. Parasti tvertnes, kas nodrošina šķidro slāpekli, izejas spiediens ir no 0,3 MPa līdz 0,8 MPa. Šķidrais slāpeklis -196 ℃ temperatūrā cauruļvada transportēšanas laikā viegli iztvaiko slāpeklī. Kad šķidrais slāpeklis ar gāzes un šķidruma attiecību aptuveni 1:700 ir gazificēts cauruļvadā, tas aizņems lielu daudzumu šķidrā slāpekļa plūsmas telpas un samazinās normālo plūsmu šķidrā slāpekļa cauruļvada galā. Turklāt šķidrā slāpekļa uzglabāšanas tvertnē, visticamāk, būs neattīrīti gruži. Šķidrā slāpekļa cauruļvadā mitra gaisa klātbūtne arī novedīs pie ledus izdedžu veidošanās. Ja šie piemaisījumi nonāks iekārtā, tas radīs neparedzamus iekārtas bojājumus.
Tāpēc šķidrais slāpeklis āra uzglabāšanas tvertnē tiek transportēts uz MBE iekārtu putekļu nesaturošā darbnīcā ar augstu efektivitāti, stabilitāti un tīrību, un zems spiediens, bez slāpekļa, bez piemaisījumiem, 24 stundas nepārtraukti, šāda transportēšanas kontroles sistēma ir kvalificēts produkts.



Atbilstošs MBE aprīkojums
Kopš 2005. gada HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimizē un uzlabo šo sistēmu, kā arī sadarbojas ar starptautiskiem MBE iekārtu ražotājiem. MBE iekārtu ražotājiem, tostarp DCA un REBER, ir sadarbības attiecības ar mūsu uzņēmumu. MBE iekārtu ražotāji, tostarp DCA un REBER, ir sadarbojušies daudzos projektos.
Riber SA ir vadošais pasaulē molekulāro staru epitaksijas (MBE) produktu un saistīto pakalpojumu piegādātājs saliktu pusvadītāju pētniecībai un rūpnieciskiem lietojumiem. Riber MBE ierīce var uzklāt ļoti plānus materiāla slāņus uz substrāta ar ļoti augstu vadības līmeni. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vakuuma iekārta ir aprīkota ar Riber SA. Lielākā iekārta ir Riber 6000, bet mazākā - Compact 21. Tā ir labā stāvoklī un ir saņēmusi klientu atzinību.
DCA ir pasaulē vadošais oksīda MBE. Kopš 1993. gada ir veikta sistemātiska oksidēšanas metožu, antioksidantu substrātu sildīšanas un antioksidantu avotu izstrāde. Šī iemesla dēļ daudzas vadošās laboratorijas ir izvēlējušās DCA oksīda tehnoloģiju. Kompozītmateriālu pusvadītāju MBE sistēmas tiek izmantotas visā pasaulē. HL kriogēno iekārtu VJ šķidrā slāpekļa cirkulācijas sistēmai (HL CRYO) un vairāku DCA modeļu MBE iekārtām ir līdzīga pieredze daudzos projektos, piemēram, P600, R450, SGC800 u. c. modeļos.

Veiktspējas tabula
Šanhajas Tehniskās fizikas institūts, Ķīnas Zinātņu akadēmija |
Ķīnas Elektronikas tehnoloģiju korporācijas 11. institūts |
Pusvadītāju institūts, Ķīnas Zinātņu akadēmija |
Huawei |
Alibaba DAMO akadēmija |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Sudžou Everbraita fotonika |
Publicēšanas laiks: 2021. gada 26. maijs