Ziņas - CHIP MBE projekts, kas pabeigts pēdējos gados

Tehnoloģija

Molekulārā staru epitaksija jeb MBE ir jauna metode, lai kristālu substrātos audzētu augstas kvalitātes plānas plēvi. Īpaši augsta vakuuma apstākļos ar sildīšanas plīti ir aprīkota ar visa veida nepieciešamajām sastāvdaļām un rada tvaiku caur caurumiem, kas veidojas pēc kolimācijas staru atomu vai molekulārā stara, tiešu iesmidzināšanu atbilstoši viena kristāla substrāta temperatūrai, kontrolējot molekulāro staru līdz atbilstošai temperatūrai, lai molekulārā staru Substrāta skenēšana vienlaikus var padarīt molekulas vai atomus kristāla izlīdzināšanas slāņos, veidojot plānu plēvi uz substrāta "augšanas".

MBE aprīkojuma normālai darbībai ir nepieciešams nepārtraukti un stabili transportēt uz aprīkojuma dzesēšanas kameru, ir jāpārtraukti jānogādā augstas tīrības, zema spiediena un īpaši tīras šķidrā slāpekļa darbība. Parasti tvertnei, kas nodrošina šķidru slāpekli, ir izejas spiediens starp 0,3MPa un 0,8MPa.Likvīdu slāpekli pie -196 ℃, cauruļvada transportēšanas laikā viegli iztvaicē slāpeklī. Kad cauruļvadā ir gāzēts šķidrais slāpeklis ar gāzes šķidruma attiecību aptuveni 1: 700, tas aizņems lielu daudzumu šķidru slāpekļa plūsmas telpas un samazinās normālu plūsmu šķidrā slāpekļa cauruļvada galā. Turklāt šķidrā slāpekļa uzglabāšanas tvertnē, iespējams, būs gruži, kas nav iztīrīti. Šķidrā slāpekļa cauruļvadā mitra gaisa esamība arī izraisīs ledus izdedžu veidošanos. Ja šie piemaisījumi tiek izvadīti aprīkojumā, tas nodarīs neparedzamus postījumus aprīkojumam.

Tāpēc šķidrais slāpeklis āra uzglabāšanas tvertnē tiek transportēts uz MBE aprīkojumu bez putekļiem bez putekļiem ar augstu efektivitāti, stabilitāti un tīru, kā arī zemu spiedienu, bez slāpekļa, bez piemaisījumiem, 24 stundas nepārtraukti, šāda transporta kontroles sistēma ir kvalificēts produkts.

Atbilstošs MBE aprīkojums

Kopš 2005. gada HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ir optimizējis un uzlabojis šo sistēmu un sadarbojas ar starptautiskajiem MBE aprīkojuma ražotājiem. MBE aprīkojuma ražotājiem, ieskaitot DCA, Reber, ir sadarbības attiecības ar mūsu uzņēmumu. MBE aprīkojuma ražotāji, ieskaitot DCA un Reber, ir sadarbojušies daudzos projektos.

Riber SA ir vadošais globālais molekulāro staru epitaksijas (MBE) produktu un ar to saistīto pakalpojumu sniedzējs saliktiem pusvadītāju pētījumiem un rūpnieciskiem lietojumiem. Riber MBE ierīce uz pamatnes var novietot ļoti plānus materiāla slāņus ar ļoti augstām vadības ierīcēm. HL kriogēno aprīkojuma (HL CRYO) vakuuma aprīkojums ir aprīkots ar Riber SA. Lielākais aprīkojums ir Riber 6000, un mazākais ir kompaktais 21. Tas ir labā stāvoklī un to ir atzinuši klienti.

DCA ir pasaules vadošā oksīda MBE. Kopš 1993. gada ir veikta sistemātiska oksidācijas metožu attīstība, antioksidantu substrāta sildīšana un antioksidantu avoti. Šī iemesla dēļ daudzas vadošās laboratorijas ir izvēlējušās DCA oksīda tehnoloģiju. Salikto pusvadītāju MBE sistēmas tiek izmantotas visā pasaulē. HL kriogēno iekārtu (HL CRYO) cirkulācijas sistēmā VJ šķidruma slāpekļa un vairāku DCA MBE aprīkojuma MBE aprīkojums ir atbilstoša pieredze daudzos projektos, piemēram, modelim p600, R450, SGC800 utt.