Šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmas tiek plaši izmantotas pusvadītāju un mikroshēmu rūpniecībā, tostarp procesos,
- Molekulārā stara epitaksijas (MBE) tehnoloģija
- Mikroshēmas tests pēc COB iepakojuma
Saistītie produkti
Vakuuma izolētu cauruļu sērija
Vakuuma izolētas elastīgas šļūtenes sērija
Dinamiskā vakuuma sūkņa sistēma
Vakuuma izolēta fāžu separatoru sērija
Vakuuma izolētu vārstu sērija
Cauruļvadu sistēmas atbalsta aprīkojums
MOLEKULĀRĀ STARA EPITAKSIJA
Molekulārā stara epitaksijas (MBE) tehnoloģija tika izstrādāta 20. gs. piecdesmitajos gados, lai, izmantojot vakuuma iztvaikošanas tehnoloģiju, sagatavotu pusvadītāju plāno kārtiņu materiālus. Attīstoties īpaši augsta vakuuma tehnoloģijai, tehnoloģijas pielietojums ir paplašinājies līdz pusvadītāju zinātnes jomai.
HL ir pamanījis pieprasījumu pēc MBE šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmas, ir izveidojis tehnisko pamatu, lai veiksmīgi izstrādātu īpašu MBE šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmu MBE tehnoloģijai un pilnu vakuuma izolētu cauruļvadu sistēmas komplektu, kas tiek izmantots daudzos uzņēmumos, universitātēs un pētniecības institūtos.
Pusvadītāju un mikroshēmu nozares izplatītākās problēmas ir šādas:
- Šķidrā slāpekļa spiediens termināla (MBE) iekārtās. Novērsiet spiediena pārslodzi, ko var izraisīt termināla (MBE) iekārtu bojājumi.
- Vairākas kriogēnā šķidruma ieplūdes un izplūdes vadības ierīces
- Šķidrā slāpekļa temperatūra termināla iekārtās
- Saprātīgs kriogēno gāzu emisiju daudzums
- (Automātiska) galveno un atzaru līniju pārslēgšana
- VIP spiediena regulēšana (samazināšana) un stabilitāte
- Tvertnes tīrīšana no iespējamiem piemaisījumiem un ledus atlikumiem
- Termināla šķidro iekārtu uzpildes laiks
- Cauruļvada iepriekšēja dzesēšana
- Šķidruma pretestība VIP sistēmā
- Šķidrā slāpekļa zudumu kontrole sistēmas pārtraukumu laikā
HL vakuuma izolētās caurules (VIP) ir izgatavotas atbilstoši ASME B31.3 spiediena cauruļvadu kodeksam kā standartam. Inženiertehniskā pieredze un kvalitātes kontroles spējas nodrošina klienta rūpnīcas efektivitāti un rentabilitāti.
RISINĀJUMI
HL Cryogenetic Equipment nodrošina klientus ar vakuuma izolētām cauruļvadu sistēmām, kas atbilst pusvadītāju un mikroshēmu nozares prasībām un apstākļiem:
1.Kvalitātes vadības sistēma: ASME B31.3 spiediena cauruļvadu kodekss.
2. Īpašs fāžu separators ar vairākām kriogēna šķidruma ieplūdes un izplūdes atverēm un automātiskās vadības funkciju atbilst gāzu emisijas, pārstrādāta šķidrā slāpekļa un šķidrā slāpekļa temperatūras prasībām.
3.Atbilstoša un savlaicīga izplūdes gāzu projektēšana nodrošina, ka termināla iekārtas vienmēr darbojas paredzētajā spiediena vērtībā.
4. Gāzes-šķidruma barjera tiek ievietota vertikālajā VI caurulē VI cauruļvada galā. Gāzes-šķidruma barjera izmanto gāzes blīvējuma principu, lai bloķētu siltuma nokļūšanu no VI cauruļvada gala VI cauruļvadā un efektīvi samazinātu šķidrā slāpekļa zudumus sistēmas pārtrauktas un periodiskas ekspluatācijas laikā.
5. VI cauruļvadi, ko kontrolē vakuuma izolēto vārstu (VIV) sērija: ietver vakuuma izolētu (pneimatisko) noslēgvārstu, vakuuma izolētu pretvārstu, vakuuma izolētu regulēšanas vārstu utt. Dažādus VIV veidus var modulāri kombinēt, lai vadītu VIP pēc nepieciešamības. VIV ir integrēts ar VIP iepriekš izgatavotu aprīkojumu ražotāja ražotnē, bez izolācijas apstrādes uz vietas. VIV blīvējuma mezglu var viegli nomainīt. (HL pieņem klienta norādīto kriogēno vārstu zīmolu un pēc tam izgatavo vakuuma izolētus vārstus. Dažus vārstu zīmolus un modeļus, iespējams, nevarēs izgatavot kā vakuuma izolētus vārstus.)
6. Tīrība, ja ir papildu prasības attiecībā uz iekšējās caurules virsmas tīrību. Klientiem ieteicams izvēlēties BA vai EP nerūsējošā tērauda caurules kā VIP iekšējās caurules, lai vēl vairāk samazinātu nerūsējošā tērauda izšļakstīšanos.
7. Vakuuma izolēts filtrs: Notīriet tvertni no iespējamiem piemaisījumiem un ledus atlikumiem.
8. Pēc dažām dienām vai ilgākas dīkstāves vai apkopes ir ļoti svarīgi iepriekš atdzesēt VI cauruļvadus un termināļa iekārtas pirms kriogēnā šķidruma ievadīšanas, lai izvairītos no ledus veidošanās pēc tam, kad kriogēns šķidrums tieši nonāk VI cauruļvados un termināļa iekārtās. Projektējot jāņem vērā iepriekšējas dzesēšanas funkcija. Tā nodrošina labāku aizsardzību termināļa iekārtām un VI cauruļvadu atbalsta iekārtām, piemēram, vārstiem.
9. Piemērots gan dinamiskām, gan statiskām vakuuma izolētām (elastīgām) cauruļvadu sistēmām.
10. Dinamiskā vakuuma izolētā (elastīgā) cauruļvadu sistēma: sastāv no VI elastīgām šļūtenēm un/vai VI caurulēm, savienotājšļūtenēm, vakuuma izolētas vārstu sistēmas, fāžu atdalītājiem un dinamiskās vakuumsūkņu sistēmas (ieskaitot vakuumsūkņus, elektromagnētiskos vārstus un vakuuma mērinstrumentus utt.). Vienas VI elastīgās šļūtenes garumu var pielāgot atbilstoši lietotāja prasībām.
11. Dažādi savienojumu veidi: var izvēlēties vakuuma bajonetes savienojuma (VBC) veidu un metināto savienojumu. VBC veidam nav nepieciešama izolācijas apstrāde uz vietas.
