Šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmas tiek plaši izmantotas pusvadītāju un mikroshēmu rūpniecībā, tostarp procesos,
- Molekulārā stara epitaksijas (MBE) tehnoloģija
- Mikroshēmas pārbaude pēc COB paketes
Saistītie produkti
Vakuuma izolēto cauruļu sērija
Vakuumizolācijas elastīgo šļūteņu sērija
Dinamiskā vakuuma sūkņu sistēma
Vakuumizolācijas fāzes atdalītāju sērija
Vakuuma izolēto vārstu sērija
Cauruļvadu sistēmas atbalsta aprīkojums
MOLEKULĀRĀ STARU EPITAKSIJA
Molecular Beam Epitaxy (MBE) tehnoloģija tika izstrādāta 1950. gados, lai sagatavotu pusvadītāju plānslāņa materiālus, izmantojot vakuuma iztvaicēšanas tehnoloģiju. Attīstoties īpaši augsta vakuuma tehnoloģijai, tehnoloģiju pielietojums ir paplašināts arī pusvadītāju zinātnes jomā.
HL ir pamanījusi pieprasījumu pēc MBE šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmas, sakārtota tehniskā mugurkaula, lai veiksmīgi izstrādātu īpašu MBE šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmu MBE tehnoloģijai un pilnu vakuumizolēto cauruļvadu sistēmu komplektu, kas ir izmantots daudzos uzņēmumos, universitātēs un pētniecības institūtos. .
Pusvadītāju un mikroshēmu nozares kopējās problēmas ietver:
- Šķidrā slāpekļa spiediens termināļa (MBE) iekārtās. Novērsiet spiediena pārslodzi no termināla (MBE) aprīkojuma sabojāšanas.
- Vairākas kriogēnās šķidruma ieplūdes un izplūdes vadības ierīces
- Šķidrā slāpekļa temperatūra gala iekārtās
- Saprātīgs kriogēno gāzu emisiju daudzums
- (Automātiska) Galvenās un atzarojuma līniju pārslēgšana
- Spiediena regulēšana (samazināšana) un VIP stabilitāte
- Iespējamo netīrumu un ledus atlikumu tīrīšana no tvertnes
- Termināļa šķidrā aprīkojuma uzpildīšanas laiks
- Cauruļvada priekšdzesēšana
- Šķidruma izturība VIP sistēmā
- Kontrolējiet šķidrā slāpekļa zudumu sistēmas pārtrauktas apkopes laikā
HL vakuumizolētā caurule (VIP) ir izgatavota saskaņā ar ASME B31.3 spiediena cauruļvadu kodu kā standartu. Inženieru pieredze un kvalitātes kontroles spēja nodrošināt klienta ražotnes efektivitāti un rentabilitāti.
RISINĀJUMI
HL Cryogenic Equipment nodrošina klientus ar vakuumizolētu cauruļvadu sistēmu, lai atbilstu pusvadītāju un mikroshēmu nozares prasībām un nosacījumiem:
1. Kvalitātes vadības sistēma: ASME B31.3 spiediena cauruļvadu kods.
2. Īpašs fāžu atdalītājs ar vairākām kriogēnā šķidruma ieplūdēm un izplūdēm ar automātiskās vadības funkciju atbilst prasībām par gāzes emisiju, pārstrādāto šķidro slāpekli un šķidrā slāpekļa temperatūru.
3. Adekvāta un savlaicīga izplūdes konstrukcija nodrošina, ka gala aprīkojums vienmēr darbojas paredzētajā spiediena vērtībā.
4. Gāzes un šķidruma barjera ir novietota vertikālajā VI caurulē VI cauruļvada galā. Gāzes-šķidruma barjera izmanto gāzes blīvējuma principu, lai bloķētu siltumu no VI cauruļvada gala uz VI cauruļvadu un efektīvi samazinātu šķidrā slāpekļa zudumus nepārtrauktas un periodiskas sistēmas darbības laikā.
5.VI Cauruļvadi, ko kontrolē vakuumizolēts vārsts (VIV) sērija: ieskaitot vakuumizolētu (pneimatisku) slēgvārstu, vakuumizolētu pretvārstu, vakuumizolētu regulēšanas vārstu utt. Dažādus VIV veidus var kombinēt modulāri, lai vadītu VIP kā nepieciešams. VIV ir integrēts ar VIP rūpniecisko ražošanu pie ražotāja, bez izolētas apstrādes uz vietas. VIV blīvējuma bloku var viegli nomainīt. (HL pieņem klientu norādīto kriogēno vārstu zīmolu, un pēc tam HL ražo vakuumizolētus vārstus. Dažu zīmolu un modeļu vārstus, iespējams, nevarēs izgatavot par vakuumizolētus vārstus.)
6.Tīrība, ja ir papildu prasības attiecībā uz kameru virsmas tīrību. Klientiem tiek ieteikts izvēlēties BA vai EP nerūsējošā tērauda caurules kā VIP iekšējās caurules, lai vēl vairāk samazinātu nerūsējošā tērauda izšļakstīšanos.
7. Vakuuma izolēts filtrs: notīriet no tvertnes iespējamos piemaisījumus un ledus atlikumus.
8.Pēc dažām dienām vai ilgākas izslēgšanas vai apkopes ir ļoti nepieciešams pirms kriogēnā šķidruma ievadīšanas iepriekš atdzesēt VI cauruļvadu un gala iekārtas, lai izvairītos no ledus izdedžu rašanās pēc tam, kad kriogēnais šķidrums tieši nonāk VI cauruļvadā un gala iekārtās. Izstrādājot, jāņem vērā priekšdzesēšanas funkcija. Tas nodrošina labāku aizsardzību termināla aprīkojumam un VI cauruļvadu atbalsta aprīkojumam, piemēram, vārstiem.
9. Piemērots gan dinamiskai, gan statiskai vakuumizolācijas (elastīgai) cauruļvadu sistēmai.
10. Dinamiska vakuumizolēta (elastīga) cauruļvadu sistēma: sastāv no VI elastīgajām šļūtenēm un/vai VI caurules, džemperu šļūtenēm, vakuumizolācijas vārstu sistēmas, fāzu atdalītājiem un dinamiskā vakuumsūkņu sistēmas (tostarp vakuuma sūkņiem, solenoīda vārstiem un vakuuma mērierīcēm utt.). ). Vienas VI elastīgās šļūtenes garumu var pielāgot atbilstoši lietotāja prasībām.
11. Dažādi savienojumu veidi: var izvēlēties vakuuma bajonetes savienojuma (VBC) veidu un metināto savienojumu. VBC tipam nav nepieciešama izolēta apstrāde uz vietas.
