Šķidrās slāpekļa dzesēšanas sistēmas plaši izmanto pusvadītāju un mikroshēmu nozarē, ieskaitot procesu,
- Molekulārā staru epitaksijas (MBE) tehnoloģija
- Čipa tests pēc vālītes paketes
Saistītie produkti
Vakuuma izolētu cauruļu sērija
Vakuuma izolēta elastīga šļūteņu sērija
Dinamiska vakuuma sūkņu sistēma
Vakuuma izolēta fāzes separatora sērija
Vakuuma izolēta vārstu sērija
Cauruļvadu sistēmas atbalsta aprīkojums
Molekulārā staru epitaksija
Molekulārā staru epitaksijas (MBE) tehnoloģija tika izstrādāta piecdesmitajos gados, lai sagatavotu pusvadītāju plānas plēves materiālus, izmantojot vakuuma iztvaikošanas tehnoloģiju. Izstrādājot īpaši augstu vakuuma tehnoloģiju, tehnoloģiju pielietojums tika paplašināts uz pusvadītāju zinātnes jomu.
HL ir pamanījis MBE šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmas pieprasījumu, organizēto tehnisko mugurkaulu, lai veiksmīgi izstrādātu īpašu MBE šķidru slāpekļa kooja sistēmu MBE tehnoloģijai un pilnīgu vakuuma izolētu cauruļvadu sistēmas kopumu, kas ir izmantots daudzos uzņēmumos, universitātēs un pētniecības institūtos Apvidū
Semiconductor & Chip nozares kopīgās problēmas ir:
- Šķidruma slāpekļa spiediens termināla (MBE) iekārtās. Novērst spiediena pārslodzi no postošās termināļa (MBE) aprīkojuma.
- Vairākas kriogēnas šķidruma ieplūdes un izejas kontroles
- Šķidruma slāpekļa temperatūra termināla aprīkojumā
- Saprātīgs kriogēno gāzes izmešu daudzums
- (Automātiska) galveno un filiāles līniju pārslēgšana
- Spiediena regulēšana (samazināšana) un VIP stabilitāte
- Iespējamo piemaisījumu un ledus atlikumu tīrīšana no tvertnes
- Termināla šķidruma aprīkojuma piepildīšanas laiks
- Cauruļvads
- Šķidruma pretestība VIP sistēmā
- Kontrolēt šķidruma slāpekļa zudumu sistēmas pārtraukuma laikā
HL vakuuma izolētā caurule (VIP) ir veidota pēc ASME B31.3 spiediena cauruļvada koda kā standarta. Inženierzinātņu pieredze un kvalitātes kontroles spēja nodrošināt klienta rūpnīcas efektivitāti un rentabilitāti.
Risinājumi
HL Cryogenic Equipment nodrošina klientus ar vakuuma izolētu cauruļvadu sistēmu, lai izpildītu pusvadītāju un mikroshēmu nozares prasības un apstākļus:
1. kvalitātes pārvaldības sistēma: ASME B31.3 spiediena cauruļvadu kods.
2. Īpašas fāzes separators ar vairāku kriogēno šķidruma ieplūdi un izeja ar automātisku vadības funkciju atbilst prasībai pēc gāzes emisijas, pārstrādāta šķidruma slāpekļa un šķidra slāpekļa temperatūru.
3.Atvīkums un savlaicīgs izplūdes dizains nodrošina, ka termināla aprīkojums vienmēr darbojas paredzētajā spiediena vērtībā.
4. Gāzes šķidruma barjera tiek ievietota vertikālā VI caurulē VI cauruļvada galā. Gāzes un šķidruma barjerā tiek izmantots gāzes blīvējuma princips, lai bloķētu siltumu no VI cauruļvada gala uz VI cauruļvadiem un efektīvi samazinātu šķidruma slāpekļa zudumu nepārtraukta un periodiska sistēmas apkalpošanas laikā.
5.Vi cauruļvadi, ko kontrolē vakuuma izolēta vārsta (VIV) sērija: ieskaitot vakuuma izolētu (pneimatisko) izslēgšanas vārstu, vakuuma izolētu vārstu, vakuuma izolētu regulēšanas vārstu utt. prasīt. VIV ir integrēts ar VIP saliekamību ražotājā, bez ārstēšanas uz vietas. VIV blīvējuma vienību var viegli nomainīt. (HL pieņem klientu izraudzīto kriogēnā vārsta zīmolu, un pēc tam HL izgatavo vakuuma izolētus vārstus. Daži vārstu zīmoli un modeļi, iespējams, nevarētu izgatavot vakuuma izolētos vārstos.)
6.Pārbaude, ja ir papildu prasības iekšējās caurules virsmas tīrībai. Tiek ierosināts, ka klienti izvēlas BA vai EP nerūsējošā tērauda caurules kā VIP iekšējās caurules, lai vēl vairāk samazinātu nerūsējošā tērauda izliešanu.
7.Vacuum izolēts filtrs: notīriet iespējamos piemaisījumus un ledus atlikumus no tvertnes.
8. Pēc dažām dienām vai ilgākas izslēgšanas vai apkopes ir ļoti nepieciešams pirms vi cauruļvadu un termināļa aprīkojuma pirms kriogēnā šķidruma ievadīšanas, lai izvairītos no ledus izdedēšanas pēc kriogēnā šķidruma tieši nonāk VI cauruļvadu un termināla aprīkojumā. Projektēšanā jāapsver pirmskofrēšanas funkcija. Tas nodrošina labāku termināļa aprīkojuma un VI cauruļvadu atbalsta aprīkojuma, piemēram, vārstu, aizsardzību.
9.Suits gan dinamiskai, gan statiskai vakuuma izolētai (elastīgai) cauruļvadu sistēmai.
10.Dinamiskā vakuuma izolēta (elastīga) cauruļvadu sistēma: sastāv no VI elastīgām šļūtenēm un/vai VI caurulēm, džempera šļūtenēm, vakuuma izolētiem vārstu sistēmas, fāzu atdalītājiem un dinamiskām vakuuma sūkņu sistēmas (ieskaitot vakuuma sūkņus, solenoīdu vārstus un vakuuma mērītājus utt. ). Vienas VI elastīgās šļūtenes garumu var pielāgot atbilstoši lietotāja prasībām.
11. Dažādi savienojuma veidi: var atlasīt vakuuma bajoneta savienojumu (VBC) un metinātu savienojumu. VBC tipam nav nepieciešama izolēta ārstēšana uz vietas.
