Pat nelielas temperatūras, spiediena vai tīrības izmaiņas var ietekmēt pusvadītāju ražošanas ražu. Mēs izstrādājam katru kriogēno pārneses sistēmu HL Cryogenics, lai nodrošinātu nemainīgu termisko veiktspēju un pilnīgu tīrību. Tas ir īpaši svarīgi tādiem kritiski svarīgiem instrumentiem kā kodināšana, litogrāfija un plākšņu dzesēšanas sistēmas.
Pusvadītāju rūpnīcām Austrumāzijā ir nepieciešams kaut kas atšķirīgs no vispārējiem rūpniecisko gāzu lietojumiem:
Ļoti zema vibrācija un spiediena izmaiņas
Nav piesārņojuma riska
Darbojas visu laiku, 24 stundas diennaktī, 7 dienas nedēļā
Tas padara sistēmas projektēšanu daudz stingrāku nekā vairumam sašķidrinātās dabasgāzes infrastruktūras vai rūpniecisko gāzes ieguves staciju.
Tipiska sistēma sastāv no:
- Mini tvertnevai beztaras uzglabāšana kā kriogēna avots
- Galvenais sadales tīklsVakuuma izolēta caurule
- Elastīgi savienojumi, izmantojotVakuuma izolēta elastīga šļūtene
- Vadības komponenti, piemēram,Vakuuma izolēts vārsts
- Fāžu pārvaldība, izmantojotVakuuma izolēts fāžu atdalītājs
Katram komponentam jābūt izstrādātam kā pilnībā integrētas sistēmas daļai, lai nodrošinātu stabilu darbību.
Satura rādītājs
1. Inženierijas princips: siltuma noplūdes samazināšana
2. Vakuuma stabilitāte un ilgtermiņa veiktspēja
3. Spiediena projektēšana un plūsmas stabilitāte
4. Atbilstība starptautiskajiem standartiem
●Inženierijas princips: siltuma noplūdes samazināšana
Jebkuras šķidrā slāpekļa sistēmas galvenais mērķis ir neļaut siltumam iekļūt iekšā. Siltums pārvietojas caur:
Vadītspēja caur cauruļu balstiem un materiāliem
Starojums starp iekšējās un ārējās caurules sienām
Gāzes konvekcija, kas paliek pāri vakuuma telpā
MūsuVakuuma izolēta cauruleHL Cryogenics sistēmas ir izstrādātas tā, lai radītu ļoti augstu vakuuma līmeni (no 10⁻⁴ līdz 10⁻⁶ mbar), kas ievērojami palēnina šos siltuma pārneses veidus.
Gala rezultāts ir:
Zemāks iztvaikošanas ātrums
Stabils spiediena līmenis
Labāka efektivitāte visai sistēmai
Vārsts ar vakuuma izolāciju
TheVakuuma izolēts vārstspārliecinās, ka:
Kontroles punktos nonāk maz siltuma
Uzticama atdalīšana ļoti aukstos apstākļos
Ilgs kalpošanas laiks ar mazāku apkopi
Ekspluatācijas un apkopes ciklu laikā šie vārsti ir nepieciešami, lai uzturētu sistēmu labā stāvoklī.
●Vakuuma stabilitāte un ilgtermiņa veiktspēja
Apvienojot mūsuDinamiskā vakuuma sūkņa sistēma, Vakuuma izolēts vārstsunFāžu atdalītājs, mēs piedāvājam jums iekārtu, kas efektīvi pārvieto šķidru hēliju un samazina izmaksas. MūsuMini tvertnes unElastīgas šļūtenesĻaujiet mums precīzi paveikt gan mobilos, gan stacionāros darbus.
Vakuuma uzturēšana ilgstoši ir liela problēma kriogēnām sistēmām. Mikronoplūdes un materiāla izplūde izraisa tradicionālo statisko vakuuma sistēmu bojājumus.
MūsuDinamiskā vakuuma sūkņa sistēmalabo to ar:
Vienmēr sekojiet līdzi vakuuma līmenim
Regulāra vakuuma apstākļu atjaunošana
Apturēt snieguma pasliktināšanos
Tas nodrošina, ka vakuuma izolācija darbojas vienādi ilgā laika periodā, kas ir svarīgi pusvadītāju rūpnīcām, kurām nepieciešama uzticamība, neizslēdzot iekārtas gadiem ilgi.
Fāžu atdalītājsar vakuuma izolāciju
Vakuuma izolētsFāžu atdalītājsir ļoti svarīgi:
Tvaiku iegūšana no šķidrā slāpekļa
Gāzes nokļūšanas novēršana jutīgās iekārtās
Uzturot spiedienu un temperatūru nemainīgu lejpus
Tas ir īpaši svarīgi pusvadītāju instrumentiem, kur pat sīki gāzes burbuļi var traucēt procesus.
Elastīga šļūtenear vakuuma izolāciju
Vakuuma izolētsElastīga šļūtenesniedz jums:
Mehāniskā elastība iekārtu savienošanai
Izolējošas vibrācijas
Saglabāta izolācijas veiktspēja
Pareizi konstruētas kriogēnās šļūteņu sistēmas novērš stingru cauruļvadu pārslodzi un padara tos uzticamākus augstas precizitātes iestatījumos.
●Spiediena projektēšana un plūsmas stabilitāte, materiālu izvēle un tīrība
Pusvadītāju lietojumos spiediena stabilitātes uzturēšana ir tikpat svarīga kā temperatūras stabilitātes uzturēšana. Daži izplatīti sistēmas parametri ir:
Spiediens darba laikā: 6–10 bāri
Spiediens projektēšanai: no 16 līdz 25 bāriem
Plūsmas apstākļi: ļoti atšķirīgi atkarībā no tā, cik daudz instruments ir nepieciešams
Spiediena svārstības var izraisīt:
Fāzes nestabilitāte (pāreja no šķidruma uz gāzveida stāvokli)
Neatbilstība procesā
Iekārtas nedarbojas
Lai to labotu, mēs rūpīgi noteicām kriogēno cauruļu tīkla izmērus un pievienojamVakuuma izolēts fāžu atdalītājsvienības, lai uzturētu vienmērīgu plūsmu un šķidrās fāzes piegādi.
Pareizu materiālu izvēle ir ļoti svarīga gan veiktspējas, gan tīrības nodrošināšanai. Mēs parasti izmantojam:
Iekšējās caurules izgatavotas no nerūsējošā tērauda (piemēram, SS304/316L)
Materiāli ar zemu siltumvadītspēju balstiem
Daudzslāņu izolācija (MLI) ar augstu atstarošanas spēju
Visas HL Cryogenics sistēmas tiek stingri attīrītas, lai atbilstu pusvadītāju līmeņa tīrības standartiem, kas novērš daļiņu piesārņojuma risku.
●Atbilstība starptautiskajiem standartiem
Lai nodrošinātu globālu pieņemšanu un iepirkumu uzticību, mēs izstrādājam sistēmas atbilstoši:
- ASMEB31.3
- DIN EN 13480
- Kriogēno iekārtu ISO standarti
Tas ir īpaši svarīgi projektiem, kas saistīti ar:
- Pusvadītāju iekārtas Austrumāzijā
- Rūpnieciskās gāzes rūpnīcas Eiropā
- Augsto tehnoloģiju ražošanas centri Dienvidaustrumāzijā
Mūsu pēdējā darba laikā Taivānā elektronikas ražotājam mēs uzstādījām pilna mēroga šķidrā slāpekļa sistēmu, izmantojotVakuuma izolēta caurule, Vakuuma izolēta elastīga šļūtene,unDinamiskā vakuuma sūkņa sistēma.
Galvenie risināmie jautājumi bija šādi:
Tāls piegādes maršruts (>500 metrus garš)
Nepieciešams stabils spiediens (±0,2 bar robežās)
Nepārtraukta darbība
Rezultāti, kas iegūti, izmantojot mūsu sistēmu:
Vairāk nekā 95% siltuma zudumu samazinājums salīdzinājumā ar tradicionālajām cauruļvadu sistēmām
Šķidruma plūsma bez fāzes maiņas
Nepārtraukta darbība 18 mēnešus ar uzturētiem vakuuma apstākļiem
●Bieži uzdotie jautājumi
Kopš 1992. gada HL Cryogenics specializējas augsta vakuuma izolētu kriogēno cauruļvadu sistēmu un saistīto atbalsta iekārtu projektēšanā un ražošanā, kas pielāgotas dažādām klientu vajadzībām. Mums ir ASME, CE un ISO 9001 sertifikāti, un mēs esam nodrošinājuši produktus un pakalpojumus daudziem pazīstamiem starptautiskiem uzņēmumiem. Mūsu komanda ir sirsnīga, atbildīga un apņēmusies sasniegt izcilību katrā projektā, ko mēs uzņemamies.
Vakuuma izolēta/apvalkotā caurule
Vakuuma izolēta/apvalkotā elastīga šļūtene
Fāžu separators / tvaika ventilācijas atvere
Vakuuma izolēts (pneimatisks) noslēgvārsts
Vakuuma izolēts pretvārsts
Vakuuma izolēts regulēšanas vārsts
Vakuuma izolēti savienotāji aukstuma kastēm un konteineriem
MBE šķidrā slāpekļa dzesēšanas sistēmas
Cits kriogēnais atbalsta aprīkojums, kas saistīts ar VI cauruļvadiem, tostarp, bet ne tikai, drošības vārstu grupas, šķidruma līmeņa mērītāji, termometri, spiediena mērītāji, vakuuma mērītāji un elektriskās vadības kārbas.
Mēs labprāt izpildām jebkura apjoma pasūtījumus — sākot no atsevišķām vienībām līdz lieliem projektiem.
HL Cryogenics vakuuma izolētās caurules (VIP) tiek ražotas saskaņā ar ASME B31.3 spiediena cauruļvadu kodeksu kā mūsu standartu.
HL Cryogenics ir specializēts vakuuma iekārtu ražotājs, kas visas izejvielas iegūst tikai no kvalificētiem piegādātājiem. Pēc klientu pieprasījuma mēs varam iegādāties materiālus, kas atbilst konkrētiem standartiem un prasībām. Mūsu tipiskajā materiālu klāstā ietilpst ASTM/ASME 300 nerūsējošais tērauds ar virsmas apstrādi, piemēram, kodināšanu ar skābi, mehānisko pulēšanu, atkvēlināšanu un elektropulēšanu.
Iekšējās caurules izmērs un projektētais spiediens tiek noteikts atbilstoši klienta prasībām. Ārējās caurules izmērs atbilst HL Cryogenics standarta specifikācijām, ja vien klients nav norādījis citādi.
Salīdzinot ar parasto cauruļvadu izolāciju, statiskā vakuuma sistēma nodrošina labāku siltumizolāciju, samazinot klientu gazifikācijas zudumus. Tā ir arī izmaksu ziņā efektīvāka nekā dinamiskā VI sistēma, samazinot projektiem nepieciešamās sākotnējās investīcijas.
●Saistītās ziņas
Publicēšanas laiks: 2026. gada 13. aprīlis
